每周巡檢（1 次 / 周）：重點檢查設(shè)備外觀、連接狀態(tài)與環(huán)境參數(shù)。包括：臺面清潔（清除測試殘留的粉塵、樣品碎屑，避免雜質(zhì)影響振動精度）、電纜接頭緊固（尤其是動圈供電電纜，防止高頻振動導(dǎo)致接觸不良）、冷卻系統(tǒng)狀態(tài)（風(fēng)扇 / 水冷裝置是否正常運轉(zhuǎn)，濾網(wǎng)是否堵塞）。同時記錄設(shè)備運行電流、溫度等基礎(chǔ)參數(shù)，若電流波動超 ±5% 或臺面溫度超 40℃，需及時排查原因。

每月保養(yǎng)（1 次 / 月）：在周檢基礎(chǔ)上深化維護。包括：導(dǎo)向機構(gòu)潤滑（對空氣軸承或直線軸承加注專用潤滑脂，避免干摩擦影響高頻響應(yīng)）、振動參數(shù)校準(zhǔn)（使用標(biāo)準(zhǔn)加速度計檢測 1000Hz、5000Hz 等關(guān)鍵頻率點的振幅誤差，若超 ±1% 需通過控制器修正）、軟件系統(tǒng)維護（更新控制軟件補丁，備份測試數(shù)據(jù)與參數(shù)配置）。某半導(dǎo)體廠運維數(shù)據(jù)顯示，堅持每月校準(zhǔn)可使高頻電磁振動臺的測試數(shù)據(jù)重復(fù)性誤差降低 30%。

季度維護（1 次 / 3 個月）：針對高頻運行易損耗部件。重點檢查動圈狀態(tài)：拆除臺面后觀察線圈絕緣層是否破損（高頻電流易導(dǎo)致局部發(fā)熱，絕緣層老化會引發(fā)短路風(fēng)險）、測量線圈直流電阻（與初始值偏差超 5% 需更換動圈）；同時檢查位移傳感器 / 加速度傳感器的信號穩(wěn)定性，若信號噪聲超閾值，需重新校準(zhǔn)或更換傳感器。

半年維護（1 次 / 6 個月）：聚焦磁路與控制系統(tǒng)。包括：永磁體磁場強度檢測（使用高斯計測量氣隙磁感應(yīng)強度，若較初始值衰減超 10%，需補充充磁或更換永磁體，避免推力下降影響高頻輸出）、功率放大器維護（清理內(nèi)部灰塵，檢測輸出功率穩(wěn)定性，確保高頻段電流輸出無失真）。

年度大修（1 次 / 年）：全面拆解檢測與性能恢復(fù)。包括：動圈組件整體更換（即使外觀無明顯損壞，高頻振動 1 年累計運行超 1000 小時后，線圈疲勞度會顯著上升，繼續(xù)使用易引發(fā)突發(fā)故障）、磁路氣隙清理（清除長期運行積累的金屬粉塵，避免磁場分布不均）、整機性能復(fù)測（按出廠標(biāo)準(zhǔn)檢測頻率響應(yīng)、推力、振幅穩(wěn)定性等全參數(shù)，確保設(shè)備恢復(fù)至狀態(tài)）。航空航天領(lǐng)域的高頻電磁振動臺因使用強度高，部分企業(yè)將年度大修周期縮短至 8 個月。