生產(chǎn)廠家廣東皓天檢測儀器有限公司擁有專業(yè)的生產(chǎn)研發(fā)技術(shù)，一站式周到服務(wù)。作為一家專注于試驗設(shè)備產(chǎn)品的大型儀器制造商，皓天設(shè)備致力于為消費者提供技術(shù)、品質(zhì)的優(yōu)秀產(chǎn)品。

快速溫變高低溫測試箱半導(dǎo)體

半導(dǎo)體測試核心用途

快速溫變高低溫測試箱半導(dǎo)體

技術(shù)參數(shù)

采用超純凈超聲波加濕，配備 0.1μm 級過濾器，加濕水質(zhì)電阻率≥18MΩ?cm，避免離子污染半導(dǎo)體表面。加濕量 0.1~2kg/h 可調(diào)，低濕區(qū)采用電解除濕技術(shù)，可穩(wěn)定維持 10% RH±1% RH，滿足晶圓低濕存儲測試需求。加濕模塊與溫控系統(tǒng)聯(lián)動，避免溫變時出現(xiàn)凝露，保護精密半導(dǎo)體器件。

隔熱工作室構(gòu)建封閉測試環(huán)境，加熱系統(tǒng)（碳纖維加熱管）與復(fù)疊式制冷系統(tǒng)協(xié)同運作，按預(yù)設(shè)溫變曲線調(diào)節(jié)功率。加濕 / 除濕系統(tǒng)精準(zhǔn)控濕，循環(huán)風(fēng)機經(jīng) HEPA 過濾器帶動氣流形成層流（風(fēng)速 02~0.5m/s），確保溫濕度均勻。測試中實時監(jiān)測半導(dǎo)體器件電參數(shù)，同步記錄溫濕度與性能關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。

15℃/min 溫變速率下，箱內(nèi)溫度波動≤±0.3℃，連續(xù) 500 小時運行數(shù)據(jù)偏差≤0.5℃。支持 “溫變 + 濕度" 復(fù)合測試，半導(dǎo)體測試中數(shù)據(jù)重復(fù)性誤差≤1.5%。配備防靜電內(nèi)膽（表面電阻 10?~101?Ω），內(nèi)置顆粒計數(shù)器接口，箱內(nèi)≥0.5μm 顆粒濃度≤100 個 /ft3。